Skaningowy mikroskop elektronowy ze zogniskowaną wiązką jonów (FEI Helios NanoLab 660)

Subnanometrowa zdolność rozdzielcza (XHR), napięcie przyśpieszające od 500 V do 30 kV, detektory wewnątrzkolumnowe. Szybkie i precyzyjne trawienie oraz osadzanie cząstek o średnicy krytycznej większej niż 50 nm. System dozowania gazu (osadzanie Pt, trawienie węgla, osadzanie izolatora). Analiza EDS.

Więcej informacji na stronie producenta - link

Aparatura zlokalizowana jest w budynku C.